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集微网消息,3月29日,清华大学发布等离子体刻蚀机采购项目公开招标公告。

图源:清华大学设备采购信息发布平台

该公告显示,清华大学现对等离子体刻蚀机采购项目进行国内公开招标,欲采购1套等离子体刻蚀机,采购预算为165万元。该等离子体刻蚀机将用于刻蚀薄膜铌酸锂晶圆,从而加工基于薄膜铌酸锂晶圆的电光器件。(校对/若冰)

标签: 等离子体刻蚀

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