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【世界新要闻】甬矽电子“晶圆打印治具”专利获授权

2023-06-25 23:54:17 来源 : 集微网

(资料图片)

集微网消息，国知局消息显示，甬矽电子（宁波）股份有限公司“晶圆打印治具”专利获授权，授权公告日为6月23日，授权公告号为CN219234270U。

图片来源：国知局

专利摘要显示，本实用新型提供了一种晶圆打印治具，涉及晶圆刻印技术领域，该晶圆打印治具包括晶圆放置盘和晶圆保护罩，晶圆放置盘用于放置晶圆；晶圆保护罩设置在晶圆放置盘上，并用于罩设在晶圆外；其中，晶圆保护罩上还开设有激光镂空槽，激光镂空槽用于与晶圆的边缘对应，并将晶圆的边缘区域外露。

据悉，相较于现有技术，本实用新型提供的晶圆打印治具，能够有效防止烧灼物漂浮于晶圆表面导致的晶圆污染问题，同时能够避免打印偏移，避免损坏晶圆有效区域。（校对/赵碧莹）

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